近日，上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）发布了面向CIS的大束流离子注入机新产品。
据介绍，凯世通自主研发的适用于CIS器件的低能大束流离子注入机，基于已批量验证的iStellar通用注入平台与光路系统，设备成熟稳定，媲美进口先进机型，具备卓越的金属污染控制、高精度注入角度控制等特点。
凯世通市场销售副总经理张长勇表示，当前CIS市场进入了蓬勃发展的时期，手机多摄头配置、汽车智能驾驶、VR/AR可穿戴设备、智慧安防、机器视觉等新兴应用催生CIS市场不断壮大。CIS产品对金属污染与注入角度有很高的要求，凯世通通过多项技术创新，满足了CIS对离子注入机的技术要求。
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